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英特爾和特許半導體沒有選擇，臺積電和三星還沒有意識到或者暫時認為沒必要，這也就給了特許機會。在周石放寬要求之后，特許半導體入股阿斯麥的事情基本搞定。特許半導體以十點三五億美元獲得阿斯麥百分之5的股份并且投入三點四億美元幫助阿斯麥開發新技術。投資金額將以發展450mm機臺以及EUV研發制造10nm技術為兩大主軸。